{"product_id":"9783835100039","title":"Mikrosystemtechnik","description":"Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik\/Elektronik, Optik\/Elektronik und Optik\/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePublication Year: \u003c\/strong\u003e2006\u003cbr\u003e\u003cstrong\u003eImprint: \u003c\/strong\u003eVieweg+Teubner Verlag\u003cbr\u003e\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003cbr\u003e\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003cbr\u003e\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003cbr\u003e\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003cbr\u003e\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003cbr\u003e\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003cbr\u003e\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003cbr\u003e\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"Ulrich Hilleringmann","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":41253627789490,"sku":"9783835100039","price":55.38,"currency_code":"SGD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0502\/5382\/4178\/products\/3835100033.01_SCLZZZZZZZ.jpg?v=1635815052","url":"https:\/\/readabook.store\/products\/9783835100039","provider":"READABOOK BY ALKEM","version":"1.0","type":"link"}